一、改變電源的頻率，即采用變頻器。采用變頻器的好處是可以給真空泵提供一個閉環控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。

二、改變齒輪箱的傳動比。改變真空泵齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法，但是，它只能提供不可控的單一轉速。干式真空泵有著不同設計，它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來，真空泵的使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其他部件的損壞。由于螺桿式真空泵設計為單級設計，同多級真空泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數量上減少了百分之六十。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。格綠建議用戶認為耗電量對他們來說為重要而氮氣用量對他來說不重要，那么內部壓縮型螺桿式真空泵可以是一個好的選擇。